一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法

摘要

本发明提供了一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法，本发明首先将铝盐和粘结剂溶解于溶剂中，然后加入锌盐粉末，搅拌烘干后得到混合粉末，将混合粉末依次进行压制成型和烧结，制备得到铝掺杂氧化锌靶材，本发明制备方法简单，生产成本低，适合产业化发展，制得的铝掺杂氧化锌靶材品质较高。

主权项

一种铝掺杂氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将氧化铝、氢氧化铝或铝盐和粘结剂溶于溶剂中制得混合溶液，向所述混合溶液中加入氧化锌或锌盐，搅拌均匀，烘干后得到混合粉末，将所述混合粉末压制成型得到坯体，随后在空气气氛下将所述坯体置于1200℃～1500℃烧结1～6小时，得到所述铝掺杂氧化锌靶材；所述溶剂为有机溶剂，所述溶剂的重量是氧化锌或锌盐重量的10～50倍；所述氧化铝、氢氧化铝或铝盐的重量，氧化锌或锌盐的重量和粘结剂的重量分别占这三者重量总和的1％～8％、90％～98.8％和0.2％～2％；所述压制成型为冷等静压成型，所述冷等静压成型的压力为5MPa～20MPa；所述有机溶剂为无水乙醇。