发明名称 |
直接氮化法制备免研磨高纯全颗粒状氮化硅粉体的方法 |
摘要 |
直接氮化法制备免研磨高纯无纤维全颗粒状氮化硅粉体的方法,本发明采用纯度为99.990~99.999%,D50为800目~1000目的硅粉做为原料,采用99.999%的高纯氮气和99.999%的高纯氩气做为环境气氛。们所采取硅粉直接氮化工艺在有效控制氮化硅粉体形状的基础上,使得氮化硅粉体呈松散状,无需研磨可直接用作多晶硅的脱模剂,在满足脱模要求的基础上,降低了产品的成本。 |
申请公布号 |
CN105480957A |
申请公布日期 |
2016.04.13 |
申请号 |
CN201610032501.7 |
申请日期 |
2016.01.18 |
申请人 |
沈阳工业大学 |
发明人 |
乔瑞庆 |
分类号 |
C01B21/068(2006.01)I |
主分类号 |
C01B21/068(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 |
代理人 |
周智博;宋铁军 |
主权项 |
直接氮化法制备免研磨高纯无纤维全颗粒状氮化硅粉体的方法,其特征在于: 本发明采用纯度为99.990~99.999%,D50为800目~1000目的硅粉做为原料,采用99.999%的高纯氮气和99.999%的高纯氩气做为环境气氛。 |
地址 |
110870 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号 |