发明名称 直接氮化法制备免研磨高纯全颗粒状氮化硅粉体的方法
摘要 直接氮化法制备免研磨高纯无纤维全颗粒状氮化硅粉体的方法,本发明采用纯度为99.990~99.999%,D50为800目~1000目的硅粉做为原料,采用99.999%的高纯氮气和99.999%的高纯氩气做为环境气氛。们所采取硅粉直接氮化工艺在有效控制氮化硅粉体形状的基础上,使得氮化硅粉体呈松散状,无需研磨可直接用作多晶硅的脱模剂,在满足脱模要求的基础上,降低了产品的成本。
申请公布号 CN105480957A 申请公布日期 2016.04.13
申请号 CN201610032501.7 申请日期 2016.01.18
申请人 沈阳工业大学 发明人 乔瑞庆
分类号 C01B21/068(2006.01)I 主分类号 C01B21/068(2006.01)I
代理机构 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 代理人 周智博;宋铁军
主权项 直接氮化法制备免研磨高纯无纤维全颗粒状氮化硅粉体的方法,其特征在于: 本发明采用纯度为99.990~99.999%,D50为800目~1000目的硅粉做为原料,采用99.999%的高纯氮气和99.999%的高纯氩气做为环境气氛。
地址 110870 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号