一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置

摘要

本实用新型提供一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置，包括两自由度的运动平台、设置在该运动平台上方的成像镜筒以及设置在该成像镜筒上方的DMD芯片，所述运动平台上安装有吸盘垫，所述成像镜筒顶端设置有中间镂空的分划板，所述吸盘垫上设置有与所述成像镜筒相适配的反射镜。本实用新型对比已有检测光轴垂直度的结构，具有结构简单、布局合理、成本低廉、操作简易的特点，更加贴合于半导体直写曝光设备成像光路光轴垂直度的检测与调试。

主权项

一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置，包括两自由度的运动平台(1)、设置在该运动平台上方的成像镜筒(2)以及设置在该成像镜筒上方的DMD芯片(3)，所述运动平台(1)上安装有吸盘垫(4)，其特征在于，所述成像镜筒(2)顶端设置有中间镂空的分划板(5)，所述吸盘垫(4)上设置有与所述成像镜筒(2)相适配的反射镜(6)。