发明名称 基板の表面にパターンを形成する方法
摘要 A method of forming a pattern on the surface made of a hydrophobic macromolecular material of a substrate is provided, the method having a step of immersing at least said surface of the substrate in a solution that having at least 50% by volume of water and, optionally, one or more polar solvents having a dielectric constant greater than 30 and contains less than 0.0001 mol/L of dissolved gases and on source. The invention is particularly applicable in the electronics field.
申请公布号 JP5903389(B2) 申请公布日期 2016.04.13
申请号 JP20120557580 申请日期 2011.03.15
申请人 サントル ナショナル ドゥ ラ ルシェルシュ シアンティフィク 发明人 シルタヌ,イゴル;シャペル,ジャン−ポール;ドリュモン,カルロ
分类号 C08J7/14;H01L21/027 主分类号 C08J7/14
代理机构 代理人
主权项
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