单晶炉水冷套结构

摘要

单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构；水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成，法兰制成中空腔体法兰，下平面焊接接管，接管为通管，上端连接法兰腔体，下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖上端中心部位；有益效果：提高成棒效率，快捷、方便，降低能耗，提高产品的产率。

主权项

单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳(1)、炉盖(3)、晶棒(4)、硅液(5)、石英坩埚(6)和石墨热场(2)，其特征在于：水冷套由法兰(7)、接管(8)、外筒(9)和内筒(10)组成；水冷套由法兰(7)、接管(8)、外筒(9)和内筒(10)组焊制成，法兰(7)制成中空腔体法兰，下平面焊接接管(8)，接管(8)为通管，上端连接法兰(7)腔体，下端连接由外筒(9)和内筒(10)同轴心组焊成的空腔，法兰(7)安装在炉盖(3)上端中心部位；籽晶绳(1)上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒(4)顶端，晶棒(4)在水冷套(2)内降温，炉盖(3)为水冷焊接件；晶棒(4)为拉制过程中产生；硅液(5)为高温硅熔体，盛在石英坩埚(6)内；石英坩埚(6)放在石墨热场(2)内。