一种X射线抛物面反射镜表面镀高反膜的方法

摘要

本发明提出一种X射线抛物面反射镜表面镀高反膜方法，包括以下步骤：一.玻璃基片的清洗；二.用特定夹具夹持玻璃基片并烘烤；三.在玻璃基片上镀Cr膜；四.在Cr膜上镀Ir膜。本发明具有反射率高，靶材使用率高，膜层均匀，薄膜吸附力强等优点。

主权项

一种X射线抛物面反射镜表面镀高反膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：1)将抛物面玻璃基片用玻璃清洗剂超声波清洗10～30min，再用丙酮超声波清洗10～30min，然后用无水乙醇超声波清洗10～30min，最后用去离子水超声波清洗10～30min并烘干；2)将抛物面玻璃基片用特定的夹具夹持，整个基片内表面无遮挡，置于磁控溅射镀膜机加热丝下方，抽真空至1.0×10^‑4Pa～9.9×10^‑4Pa，启动加热装置，100～300℃烘烤30min～3h；3)通入Ar气，待真空腔内气压达到0.1～3Pa时，将抛物面玻璃基片移动至Cr靶正上方，对Cr旋转靶施加直流电压300～500V，靶头转速4～15r/min，预溅射5～20min，打开挡板，开始向抛物面玻璃基片内表面镀膜1～5min；4)将抛物面玻璃基片移动至Ir靶正上方，真空腔内气压仍为0.1～3Pa，对Ir旋转靶施加直流电压300～600V，靶头转速4～15r/min，预溅射5～20min，打开挡板，开始向抛物面玻璃基片内表面镀膜10～20min；5)Ir沉积完毕后，关闭烘烤电源，待降至20～25℃时，即得到X射线抛物面反射镜表面膜层。