| 发明名称 | 用于监测CMP缺陷的系统及方法 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种用于监测CMP缺陷的系统及方法。其中，该系统包括：CMP机台；拍照装置，设置于CMP机台上，拍照装置用于采集CMP处理后的芯片的图像；以及图像分析装置，用于对图像进行色彩分析，以通过图像中的正常图形和缺陷图形的色彩差别对芯片中的CMP缺陷进行监测。该系统能够自动对芯片中的CMP缺陷进行监测，从而避免了以人工方式进行CMP缺陷监测时造成的失误和错漏，进而减少了CMP缺陷监测过程中产生的失误和错漏。进一步地，该系统及方法能够对CMP过程进行实时监控，以便于实时发现有问题芯片。 | ||
| 申请公布号 | CN105489518A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201410478191.2 | 申请日期 | 2014.09.18 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 孙鹏;周维娜;田国军;吕安磊 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 吴贵明;张永明 |
| 主权项 | 一种用于监测CMP缺陷的系统，其特征在于，所述系统包括：CMP机台；拍照装置，设置于所述CMP机台上，所述拍照装置用于采集CMP处理后的芯片的图像；以及图像分析装置，用于对所述图像进行色彩分析，以通过所述图像中的正常图形和缺陷图形的色彩差别对所述芯片中的所述CMP缺陷进行监测。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||