程式控制方法以及程式控制系统

摘要

本发明揭示了一种程式控制方法，包括：提出程式变动请求，所述程式变动请求包含程式组的权限信息；对所述程式变动请求的权限信息进行判断，如果所述程式变动请求的权限符合要求，执行程式变动请求；如果所述程式变动请求的权限不符合要求，程式变动不成功。本发明还揭示了一种应用该方法的程式控制系统。本发明的程式控制方法对程式进行分组管理，只有当所述程式变动请求的权限符合要求时，所述控制模块才可以控制所述执行模块执行程式变动请求；如果所述程式变动请求的权限不符合要求，程式变动不成功，有效地避免了没有程式组的权限的人对程式变动，避免了误操作，提高了半导体制造自动化的控制效率。

主权项

一种程式控制方法，用于在半导体制造过程中的制程控制，包括：提出程式变动请求，所述程式变动请求包含程式组的权限信息，所述程式组的权限信息包括工程师的工艺、程式的工艺；对所述程式变动请求的权限信息进行判断，判断所述工程师对所述程式的修改是否具有权限，如果所述程式变动请求的权限符合要求，执行程式变动请求；如果所述程式变动请求的权限不符合要求，程式变动不成功。