表面溅射装置

摘要

本发明涉及一种手持的、能动态移动的表面溅射装置（9），其包括至少一个喷嘴装置（1），该喷嘴装置用于在目标表面（3）上喷射溅射材料；和喷嘴控制机构（4），该喷嘴控制机构用于控制所述喷嘴装置的喷射特征。此外，它包括：溅射材料供应部（5）；具有期望的溅射数据（6）的存储器，所述期望的溅射数据被预先确定和包括在存储于所述存储器上的数字图像或CAD模型中；空间测定单元（7），该空间测定单元用于相对于所述目标表面测定所述溅射装置；以及计算装置（8），该计算装置根据由所述空间测定单元获得的信息并且根据期望的溅射数据由所述喷嘴控制机构自动控制喷射，所述期望的溅射数据通过改变所述喷嘴装置的喷射特征来评价和调节，以使得所述目标表面根据所述期望的溅射数据被溅射。

主权项

一种手持的、能动力学移动的表面溅射装置(9)，该表面溅射装置包括：至少一个喷嘴装置(1)，所述喷嘴装置用于将溅射材料(2)喷射在目标表面(3)上；喷嘴控制机构(4)，该喷嘴控制机构用于控制所述喷嘴装置(1)的喷射特征；溅射材料供应部(5)；具有期望的溅射数据(6)的存储器，所述期望的溅射数据被预定义并且包括在存储于所述存储器上的数字图像或CAD模型中，其中所述期望的溅射数据(6)是待溅射在所述目标表面(3)上的期望图案的数字表示，所述溅射数据包括关于待被溅射的所述目标表面(3)的具有不同特性的多个部分的信息；空间测定单元(7)，该空间测定单元用于在空间中测定所述表面溅射装置(9)；以及计算装置(8)，该计算装置用于根据由所述空间测定单元(7)获得的信息并且根据所述期望的溅射数据(6)借助所述喷嘴控制机构(4)来自动地控制喷射，所述表面溅射装置的特征在于，所述计算装置(8)被构造成使得通过改变所述喷嘴装置(1)的所述喷射特征来评价和调节作为所述目标表面(3)上的实际可溅射区域的实际溅射斑点，使得所述目标表面(3)根据所述期望的溅射数据(6)被溅射，所述斑点取决于：所述表面溅射装置(9)的实际空间测定；所述喷嘴装置(1)的实际一组喷射特征；以及所述喷嘴装置(1)相对于所述目标表面(3)的实际测量或计算的距离和倾角。