一种蒸镀设备的定位装置

摘要

本发明公开了一种蒸镀设备的定位装置。该装置包括：旋转马达、传感器挡片、初始位置传感器和定位传感器；旋转马达用于将基片和掩膜板旋转到指定位置，且旋转马达为环形结构；传感器挡片位于旋转马达上，用于引导初始位置传感器或定位传感器对旋转马达的旋转位置进行定位；初始位置传感器独立于旋转马达，用于根据传感器挡片的运动位置使旋转马达旋转到初始位置；定位传感器独立于旋转马达，用于根据传感器挡片的运动位置对旋转马达的旋转位置进行定位，使旋转马达旋转到指定位置。应用本发明提供的蒸镀设备中的定位装置，能够在机械手取基片之前，使得基片精确定位，降低了机械手在取基片时与基片发生碰撞的几率。

主权项

一种蒸镀设备的定位装置，其特征在于，所述装置包括：旋转马达、旋转马达传感器挡片、旋转马达初始位置传感器和旋转马达定位传感器；其中，所述旋转马达，用于将基片和掩膜板旋转到指定位置，且所述旋转马达为环形结构；所述旋转马达传感器挡片位于所述旋转马达上，用于引导所述旋转马达初始位置传感器或所述旋转马达定位传感器对所述旋转马达的旋转位置进行定位；所述旋转马达初始位置传感器独立于所述旋转马达，用于根据所述旋转马达传感器挡片的运动位置使所述旋转马达旋转到初始位置；所述旋转马达定位传感器独立于所述旋转马达，用于根据所述旋转马达传感器挡片的运动位置对所述旋转马达的旋转位置进行定位，使所述旋转马达旋转到指定位置。