一种硅片分片装置

摘要

一种硅片分片装置，包括分片机构和供料槽；所述分片机构包括硅片分片机构本体，该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带，所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔，该气孔通过管路与抽气装置连通；所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮；所述供料槽包括供料槽槽体和水泵，所述供料槽槽体设有溢流口，该溢流口通过管路与一储液槽连通；所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台；所述承托平台对应所述分片输送带设置。本发明在分片时，具有分片效率高、对硅片损害小的优点。

主权项

一种硅片分片装置，其特征在于：包括分片机构和供料槽；所述分片机构包括包括硅片分片机构本体，该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带，所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔，该气孔通过管路与抽气装置连通；所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮；所述供料槽包括供料槽槽体和水泵，所述供料槽槽体设有溢流口，该溢流口通过管路与一储液槽连通；所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台，该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接；所述供料槽槽体上设有液压传感器，该液压传感器与一计算机数控系统信号连接，所述计算机数控系统与所述水泵电连接；所述供料槽槽体内容纳有液体，液体的深度总是大于堆垛硅片的高度；所述承托平台对应所述分片输送带设置。