一种改进型化学镀铜装置

摘要

本实用新型公开了一种改进型化学镀铜装置，包括反应池，所述反应池为矩形，且矩形的两端均由半圆形构成，所述反应池的内腔中均匀分布有循环进水口和循环排水槽，且循环进水口和循环排水槽的数量相同，所述反应池的前后两端均安装有内循环装置。本实用新型通过内循环装置使反应池中的溶液流动起来，随着溶液的流动将镀件附近的低浓度溶液替换为镀件远处的高浓度溶液，有效的保证了反应速率。

主权项

一种改进型化学镀铜装置，其特征在于：包括反应池(1)，所述反应池(1)的中间为矩形，且两端为半圆形结构，所述反应池(1)的内腔中均匀分布有循环进水口(11)和循环排水槽(12)，且循环进水口(11)和循环排水槽(12)的数量相同，所述反应池(1)的前后两端均安装有内循环装置(2)；所述内循环装置(2)包括工作腔(21)、隔膜腔(22)和流通腔(23)，且工作腔(21)的两侧依次设有隔膜腔(22)和流通腔(23)，所述工作腔(21)的内部活动安装有控压组件(24)，所述控压组件(24)包括传动杆(241)，所述传动杆(241)上的中间处设有第一齿轮(242)，所述传动杆(241)上位于第一齿轮(242)的两侧均设有滑槽(243)，且工作腔(21)的内壁上设有与滑槽(243)匹配的凸块(211)，所述传动杆(241)的两端均设有密封块(244)，所述工作腔(21)的外侧设有电动机(25)，且电动机(25)通过第二齿轮(251)与第一齿轮(242)的啮合和传动杆(241)连接，所述隔膜腔(22)的内部卡接有隔膜(26)，所述流通腔(23)的两端均设有止回组件(27)，所述流通腔(23)的两端通过管路分别与循环进水口(11)和循环排水槽(12)连接。