一种检测压电陶瓷压电常数d31的装置

摘要

本发明公开了一种检测压电陶瓷压电常数d31的装置，涉及激光干涉检测技术。该装置由激光器（1）、扩束镜（2）、准直镜（3）、分光镜（4）、压电陶瓷紧固件（5）、聚焦透镜（6）、面阵CCD（7）、计算机（8）、反射镜（9）和积分放大电路（10）组成。其工作原理是通过锯齿波信号驱动压电陶瓷，利用激光干涉法精确测量压电陶瓷的离面位移，得到压电陶瓷压电常数d31。优点是：结构简单，方法可靠，操作方便，精度高且稳定，适合对压电陶瓷的压电常数d31进行实时检测。

主权项

一种检测压电陶瓷压电常数d31的装置，其特征在于，该装置由激光器（1）、扩束镜（2）、准直镜（3）、分光镜（4）、压电陶瓷紧固件（5）、聚焦透镜（6）、面阵CCD（7）、计算机（8）、反射镜（9）和积分放大电路（10）组成；激光器（1）、扩束镜（2）、准直镜（3）和压电陶瓷紧固件（5）依次同轴放置在同一水平线上，分光镜（4）放置在准直镜（3）和压电陶瓷紧固件（5）之间，与轴向成45°角，分光镜（4）的反射方向垂直放置反射镜（9），反射镜（9）反射面的垂直方向过分光镜（4）依次同轴放置聚焦透镜（6）和面阵CCD（7），面阵CCD（7）的输出端连接计算机（8）图像采集卡的输入端，计算机（8）串口输出信号连接积分放大器（10），积分放大器（10）的输出端连接到压电陶瓷紧固件（9）中压电陶瓷样品的控制端；扩束镜（2）与准直镜（3）的距离为扩束镜（2）和准直镜（3）焦距之和，面阵CCD（7）放置在聚焦透镜（6）的像面上。