一种具有液体全超憎功能的三维结构的制备方法

摘要

本发明提供了一种具有液体全超憎功能的三维结构的制备方法，涉及三维微纳米加工技术。所述方法的具体步骤如下：选取用于支撑所述三维结构的衬底；在所述衬底上敷涂光刻胶；使用激光直写设备对所述光刻胶的预先设计区域进行曝光，形成曝光区；对所述曝光区的光刻胶进行显影、定影，获得所述三维结构。本发明的三维结构的制备方法，相对于现有技术中的加工方法，减少了多次进行刻蚀的工艺，工艺难度比较低，耗时较少，并且制成的三维结构具有较高的灵活性。本发明的三维结构的制备方法可重复性高，可以有助于提高成品率。

主权项

一种具有液体全超憎功能的三维结构的制备方法，具体步骤如下：步骤1、选取用于支撑所述三维结构的衬底；步骤2、在所述衬底上敷涂光刻胶；步骤3、使用激光直写设备对所述光刻胶的预先设计区域进行曝光，形成曝光区；步骤4、对所述曝光区的光刻胶进行显影、定影，获得所述三维结构。