| 发明名称 | 一种无损检测高精度元件缺陷的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种无损检测高精度元件缺陷的方法，包括：搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器的光路，该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件；将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间，对待检测高精度元件进行相位衬度成像，获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号，从而对其缺陷进行检测。采用本发明公开的方法，可以快速高效地检测高精度元件的微小缺陷，适用于非透明物体。 | ||
| 申请公布号 | CN105486693A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201610035277.7 | 申请日期 | 2016.01.19 |
| 申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 刘刚;张灿;王圣浩;胡仁芳;韩华杰;侯双月;陆亚林 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;郑哲 |
| 主权项 | 一种无损检测高精度元件缺陷的方法，其特征在于，包括：搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器的光路，该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件；将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间，对待检测高精度元件进行相位衬度成像，获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号，从而对其缺陷进行检测。 | ||
| 地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 | ||