光致抗蚀剂回收系统及其方法

摘要

本发明公开一种光致抗蚀剂回收系统及其方法，该光致抗蚀剂回收系统包括：储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，且储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与瓶盖的第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上。

主权项

一种光致抗蚀剂回收系统，包括：储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，所述储存瓶具有瓶盖，在所述瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与所述第一接头连接；排出管路，与所述瓶盖的所述第二接头连接；第一切换装置，设置于所述排出管路上；第二切换装置，设置于所述储存瓶与所述第一切换装置之间的所述排出管路上；回收管路，连接所述第三接头以及在所述第一切换装置与所述第二切换装置之间的所述排出管路；以及第三切换装置，设置于所述回收管路上。