一种全背电极太阳能电池的生产工艺

摘要

本发明公开了一种全背电极太阳能电池的生产工艺，包括：(1)在n型硅衬底硅片背面形成具有指状交叉排列的背面n+扩散层区域、背面p+扩散层区域；在n型硅衬底硅片前表面形成前表面n+扩散层；(2)将n型硅衬底硅片进行退火氧化处理形成氧化层；(3)在n型硅衬底硅片的前表面和背面沉积钝化层；在前表面钝化层上沉积增反层；(4)将导电浆料印刷在背面钝化层上，烧结后，分别在背面p+扩散层区域和背面n+扩散层区域上形成接触电极，完成全背电极太阳能电池的制造。本发明将单一导电浆料同时印刷在背面p+扩散层和n+扩散层上的钝化层上，烧结后在p+扩散层和n+扩散层上形成低接触电阻的指状交叉导电电极，简化了IBC电池的生产工艺，降低了IBC电池的生产成本。

主权项

一种全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、在n型硅衬底硅片背面分别进行磷、硼局部扩散，形成具有指状交叉排列的背面n+扩散层区域、背面p+扩散层区域；在n型硅衬底硅片前表面进行磷扩散，形成前表面n+扩散层；步骤二、将n型硅衬底硅片进行退火氧化处理，在n型硅衬底硅片的前后表面形成氧化层；步骤三、在n型硅衬底硅片的前表面和背面沉积钝化层，形成前表面钝化层和背面钝化层；在前表面钝化层上沉积增反层，形成前表面增反层；步骤四、将导电浆料单次印刷在背面指状交叉的p+扩散层区域和背面n+扩散层区域的钝化层上，然后烧结，烧结后，所述导电浆料同时烧穿背面钝化层并分别在背面p+扩散层区域和背面n+扩散层区域上形成接触电极，完成全背电极太阳能电池的制造。