加热基板支撑件

摘要

本发明的实施例提供一种在处理腔室中加热且支撑基板的装置。本发明的一个实施例提供一种基板支撑组件。所述基板支撑组件包括加热板及悬臂，所述加热板在前侧上具有基板支撑表面，所述悬臂自所述加热板的背侧延伸。所述加热板经设置以支撑且加热所述基板支撑表面上的基板。所述悬臂具有第一端及第二端，所述第一端在所述加热板的中心轴附近附连到所述加热板，所述第二端自所述中心轴径向向外延伸。

主权项

一种基板支撑组件，包含：加热板，所述加热板具有前侧及背侧，所述前侧包括基板支撑表面；加热元件，所述加热元件安置在所述加热板中；悬臂，所述悬臂自所述加热板的所述背侧延伸，其中所述悬臂具有第一端及第二端，所述第一端在所述加热板的中心轴处附连到所述加热板，所述第二端自所述中心轴径向向外延伸；以及隔热器，所述隔热器在所述加热板的所述中心轴处耦接至所述加热板的所述背侧，其中隔热器经由所述悬臂中的开口延伸。