物理气相淀积机台及其冷却腔体

摘要

本发明提供一种物理气相淀积机台及其冷却腔体，该冷却腔体包括腔体盖子、光电感应器、升降环和冷却基座；光电感应器安装于腔体盖子上；升降环通过升降臂向下与气缸相连接，气缸具有升起位置传感器和释放位置传感器，用于判断升降环处于升起位置或释放位置；升降环上承载有硅片，光电感应器向下对准硅片；冷却基座位于硅片的下方。其中，光电感应器向硅片发射红外线光束，遇到硅片时红外线光束被反射回来；当硅片被正确放置在升降环上时，反射回来的红外线光束能被光电感应器接收到，光电感应器导通，升降环允许载着硅片从升起位置降到释放位置；否则光电感应器不导通，机台停止运行。本发明能够自动检测硅片在冷却腔体内升降环上的位置是否正确。

主权项

一种物理气相淀积机台的冷却腔体，包括腔体盖子、光电感应器、升降环和冷却基座；所述光电感应器安装于所述腔体盖子上；所述升降环通过一升降臂向下与一气缸相连接，所述气缸具有升起位置传感器和释放位置传感器，用于判断所述升降环是处于升起位置还是释放位置；所述升降环上承载有一硅片，所述光电感应器向下对准所述硅片；所述冷却基座位于所述硅片的下方；其中，所述光电感应器用于向其下方的所述硅片发射一束红外线光束，遇到所述硅片时所述红外线光束被反射回来；当所述硅片被正确放置在所述升降环上时，反射回来的所述红外线光束能被所述光电感应器接收到，所述光电感应器导通，所述升降环允许载着所述硅片从所述升起位置降到所述释放位置；否则，所述光电感应器不导通，所述机台停止运行；其中，所述光电感应器上施加有一24伏的工作电压；其中，所述升起位置传感器的一端与所述光电感应器串联后，与所述24伏的工作电压相连接，所述升起位置传感器的另一端接地；所述释放位置传感器的一端直接与所述24伏的工作电压相连接，另一端接地。