发明名称 | 一种激光点光源簇的产生装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种激光点光源簇的产生装置,包括用于产生激光束(21)的激光源(11)、位于激光器一侧并设有通孔的光阑(12)以及位于光阑一侧、均匀分布微孔的滤纸(13);所述激光源(11)产生的激光束(21)经过光阑(12)的通孔后被限制为与通孔直径相等的入射激光束(22),该激光束(22)垂直入射滤纸(13)表面发生衍射,产生与入射激光束(22)束径等大的激光点光源簇,形成点发散激光(23)。本发明装置结构简单,激光源的选则广泛,易于实现,适合作为光路校准过程中的点发散光源。 | ||
申请公布号 | CN103487943B | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
申请号 | CN201310471301.8 | 申请日期 | 2013.10.10 |
申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 谭智勇;曹俊诚;张戎 |
分类号 | G02B27/09(2006.01)I | 主分类号 | G02B27/09(2006.01)I |
代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
主权项 | 一种激光点光源簇的产生装置,其特征在于:包括用于产生激光束(21)的激光源(11)、位于激光源一侧并设有通孔的光阑(12)以及位于光阑一侧、均匀分布微孔的滤纸(13);所述激光源(11)产生的激光束(21)经过光阑(12)的通孔后被限制为与通孔直径相等的入射激光束(22),该激光束(22)垂直入射滤纸(13)表面发生衍射,产生与入射激光束(22)束径等大的激光点光源簇,形成点发散激光(23);所述激光源(11)为激光笔,其输出激光为波长650‑660nm的红光;所述滤纸中的微孔直径为1000nm,微孔间距为1000nm;所述光阑(12)与所述激光源(11)的激光输出端距离为2mm,所述光阑(12)的通孔直径为0.5mm;所述滤纸(13)与所述光阑的距离为1.5mm。 | ||
地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 |