| 发明名称 | 一种类金刚石微管及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种类金刚石微管的制备方法，其包括以下步骤：⑴提供一基底，并对所述基底进行表面刻蚀处理；⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜，其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种；⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间，使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解，类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲，得到具有中空结构的类金刚石微管。本发明还提供一种类金刚石微管。 | ||
| 申请公布号 | CN105483614A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201510874097.3 | 申请日期 | 2015.12.03 |
| 申请人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明人 | 汪爱英;焦圆;柯培玲;张栋;郭鹏 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人 | 郭晓华 |
| 主权项 | 一种类金刚石微管的制备方法，其包括以下步骤：⑴提供一基底，并对所述基底进行表面刻蚀处理；⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜，其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种；⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间，使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解，类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲，得到具有中空结构的类金刚石微管。 | ||
| 地址 | 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||