一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构

摘要

本实用新型涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构。本实用新型解决了现有MEMS器件的过载保护方法降低了MEMS器件的测试精度、容易导致MEMS器件发生损坏的问题。一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构，包括质量块、缓冲凸块部分、连接横梁部分、锚块部分、缓冲垫部分、弹簧部分；所述缓冲凸块部分包括两个前缓冲凸块、两个后缓冲凸块、左缓冲凸块、右缓冲凸块；所述连接横梁部分包括前连接横梁、后连接横梁；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、左锚块、右锚块；所述缓冲垫部分包括两个前缓冲垫、两个后缓冲垫、左缓冲垫、右缓冲垫。本实用新型适用于MEMS器件的过载保护。

主权项

一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构，其特征在于：包括质量块（1）、缓冲凸块部分、连接横梁部分、锚块部分、缓冲垫部分、弹簧部分；所述缓冲凸块部分包括两个前缓冲凸块（21）、两个后缓冲凸块（22）、左缓冲凸块（23）、右缓冲凸块（24）；两个前缓冲凸块（21）分别固定于质量块（1）的前表面左端和前表面右端；两个后缓冲凸块（22）分别固定于质量块（1）的后表面左端和后表面右端；左缓冲凸块（23）固定于质量块（1）的左表面中部；右缓冲凸块（24）固定于质量块（1）的右表面中部；所述连接横梁部分包括前连接横梁（31）、后连接横梁（32）；前连接横梁（31）平行设置于质量块（1）的正前方；后连接横梁（32）平行设置于质量块（1）的正后方；所述锚块部分包括两个前锚块（41）、两个后锚块（42）、左锚块（43）、右锚块（44）；两个前锚块（41）分别设置于两个前缓冲凸块（21）的正前方，且两个前锚块（41）分别设置于前连接横梁（31）的左方和右方；两个后锚块（42）分别设置于两个后缓冲凸块（22）的正后方，且两个后锚块（42）分别设置于后连接横梁（32）的左方和右方；左锚块（43）设置于左缓冲凸块（23）的正左方；右锚块（44）设置于右缓冲凸块（24）的正右方；所述缓冲垫部分包括两个前缓冲垫（51）、两个后缓冲垫（52）、左缓冲垫（53）、右缓冲垫（54）；两个前缓冲垫（51）分别固定于两个前锚块（41）的后表面，且两个前缓冲垫（51）与两个前缓冲凸块（21）之间留有间隙；两个后缓冲垫（52）分别固定于两个后锚块（42）的前表面，且两个后缓冲垫（52）与两个后缓冲凸块（22）之间留有间隙；左缓冲垫（53）固定于左锚块（43）的右表面，且左缓冲垫（53）与左缓冲凸块（23）之间留有间隙；右缓冲垫（54）固定于右锚块（44）的左表面，且右缓冲垫（54）与右缓冲凸块（24）之间留有间隙；所述弹簧部分包括四个前弹簧（61）、四个后弹簧（62）；四个前弹簧（61）的首端分别与前连接横梁（31）的后表面左部、后表面右部、左表面、右表面垂直固定；四个前弹簧（61）的尾端分别与质量块（1）的前表面左部、质量块（1）的前表面右部、其中一个前锚块（41）的右表面、另一个前锚块（41）的左表面垂直固定；四个后弹簧（62）的首端分别与后连接横梁（32）的前表面左部、前表面右部、左表面、右表面垂直固定；四个后弹簧（62）的尾端分别与质量块（1）的后表面左部、质量块（1）的后表面右部、其中一个后锚块（42）的右表面、另一个后锚块（42）的左表面垂直固定。