衍射光学元件和计测装置

摘要

本发明提供能够极力抑制零级衍射光的产生并且在宽范围内生成光斑的衍射光学元件和计测装置。本发明通过提供一种衍射光学元件来解决上述问题，所述衍射光学元件具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光，其特征在于，将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射角设为角度范围θ时，所述角度范围θ为7.5°以上，且零级衍射光的衍射效率为5%以下。

主权项

一种衍射光学元件，具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光，其特征在于，所述凹凸为2阶，将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射角设为角度范围θ时，所述角度范围θ为7.5°以上，且零级衍射光的衍射效率为5％以下，所述凹凸中，将与所述凹凸的高度方向不同的预定轴方向上的凸部的长度和凹部的长度中在设所述光的波长为λ时落入λ/8至6λ范围内的所述凸部的长度的平均值和所述凹部的长度的平均值分别设为μ₁、μ₂时，所述衍射角θ和D＝μ₁/(μ₁+μ₂)的值为7.5°<θ<90°，且0<D<0.5，并且‑0.02θ+0.6<D<‑0.00133θ+0.5233，其中，7.5°<θ<36.3°；或‑0.02θ+0.6<D<0.475，其中，36.3°<θ<90°。