一种AMOLED面板像素电路的版图及其制作方法

摘要

本发明的一种AMOLED面板像素电路的版图，包括条状子像素、开关晶体管T1、驱动晶体管T2、扫描线Vscan、数据线Vdata、电源线、存储电容和有机发光二极管；其中扫描线Vscan在像素电路版图中沿条状子像素长边方向分布，数据线Vdata和电源线Vdd在像素电路版图中沿条状子像素短边方向分布，有机发光二极管OLED的有机材料蒸镀区域沿条状子像素短边方向加宽，长边方向不变。这些特征使本发明的子像素的有机发光材料蒸镀面积得以增大，提高了面板开口率。根据有机发光材料的JVL曲线特性，开口率的提高将减小其驱动电流密度、降低驱动电压，从而使得面板有机材料寿命延长并降低功耗，获得面板性能的提升。

主权项

一种AMOLED面板像素电路的版图制作方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1：在玻璃基板的氧化物缓冲层上制作有源层图案，具体方法是在形成氧化物缓冲层后形成非晶硅薄膜，之后再蒸镀覆盖层，然后蒸镀Ni并进行预处理，再形成多晶硅薄膜，直到形成有源层图案；其中，有源层图案中的开关晶体管(T21)图案为“匚”形；步骤2：在蒸镀栅极绝缘层和栅极金属层后，对栅极金属层施行湿法蚀刻，之后对栅极绝缘层进行干法蚀刻，形成栅极层图案，在本步骤中形成了沿条状子像素长边方向分布的扫描线；步骤3：在步骤2形成栅极层后，涂布绝缘的层间介质膜，之后通过过孔工艺，留出接触孔；步骤4：蒸镀金属层，通过步骤3留下的接触孔与有源层及栅极层连接，完成像素驱动电路与外部电源和数据线的连接，并在像素内部将开关管的漏极与驱动管的栅极相连同时形成像素驱动电路的存储电容，在本步骤中形成了沿条状子像素短边方向分布的数据线和电源线；步骤5：为了更好保护底层的薄膜晶体管和金属线，在步骤4后将形成钝化层，然后在钝化层上打孔作为驱动管的漏极D与OLED正极的连接孔；步骤6：完成OLED透明阳极的制作，并通过步骤5留下的接触孔与驱动管漏极D相连；步骤7：采用绝缘树脂涂布面板，然后刻蚀仅留出OLED部分进行后续的有机材料蒸镀，在本步骤中，有机材料蒸镀区沿条状子像素短边方向扩展并占据了原本沿条状子像素长边方向分布的电源线占据的像素空间，使有机材料蒸镀区的沿条状子像素长边方向边沿延伸至沿条状子像素长边方向分布的扫描线Vscan和所在子像素的边沿。