在处理过程中支撑工件的装置和方法

摘要

本发明公开了一种用于在工件处理过程中支撑工件的装置，该装置包含有：底座，其具有和真空源相连的真空腔室；支撑设备，其可相对于底座旋转，该支撑设备具有中空的间隔和支撑表面以固定工件；以及在该底座和支撑设备之间设置有一个或一个以上的密封设备，以在允许支撑设备相对于底座旋转的同时在底座和支撑设备之间提供气密密封，以便于形成真空通道，该真空通道从支撑设备的支撑表面处，通过支撑设备的中空间隔和底座的真空腔室，延伸至真空源，藉此在工件的处理过程中将工件固定至支撑设备的支撑表面处。

主权项

一种用于在工件处理过程中支撑工件的装置，该装置包含有：底座，其具有和真空源相连的真空腔室；支撑设备，其可相对于底座旋转，该支撑设备具有中空的间隔和支撑表面以固定工件；以及在该底座和支撑设备之间设置的一个或一个以上的密封设备，以在允许支撑设备相对于底座旋转的同时在底座和支撑设备之间提供气密密封，以便于形成真空通道，该真空通道从支撑设备的支撑表面处，通过支撑设备的中空间隔和底座的真空腔室，延伸至真空源，藉此在工件的处理过程中将工件固定至支撑设备的支撑表面处:其中，该一个或一个以上的密封设备中包含有：聚合物材料；和偏压设备，其相对于聚合物材料设置，以推紧聚合物材料抵靠于底座和支撑设备，藉此在其间提供气密密封。