| 发明名称 | 用于制备铟烷氧化物化合物的方法、可由该方法制备的铟烷氧化物化合物及其用途 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种铟烷氧化物化合物，其可通过在通式ROH醇(其中R＝烷基)的存在下将三卤化铟InX<sub>3</sub>(其中X＝F、Cl、Br、I)与式R′<sub>2</sub>NH(其中R′＝烷基)的仲胺以相对于三卤化铟8∶1至20∶1的摩尔比反应制备；本发明还涉及制备所述化合物的方法；及其用于制造含氧化铟或(半)导体层的用途。 | ||
| 申请公布号 | CN105492447A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201480036888.2 | 申请日期 | 2014.05.15 |
| 申请人 | 赢创德固赛有限公司 | 发明人 | J·施泰格尔;D·V·范;A·诺依曼;A·梅尔库洛夫;A·霍佩;D·佛吕林 |
| 分类号 | C07F5/00(2006.01)I;C23C18/12(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I | 主分类号 | C07F5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 于辉 |
| 主权项 | 铟烷氧化物化合物，其可通过在通式ROH的醇其中R＝烷基的存在下将‑三卤化铟InX<sub>3</sub>，其中X＝F、Cl、Br、I‑与式R′<sub>2</sub>NH的仲胺，其中R′＝烷基，以相对于三卤化铟8∶1至20∶1的摩尔比反应制备。 | ||
| 地址 | 德国埃森 | ||