颗粒收集系统及集尘方法

摘要

本发明提供一种不需要定期性实施颗粒的去除作业而能够几乎完全去除颗粒的颗粒收集系统及集尘方法。本发明的颗粒收集系统(1-1)具备集尘部(2)、电源部(3)、以及静电容量计测部(4)。集尘部(2)是由第一及第二电极(21、22)、第二电极(22)以及覆盖此等电极的介电质(20)所成。电源部(3)为对第一及第二电极(21、22)供给电源电压的部分。静电容量计测部(4)为计测集尘部(2)的静电容量的部分，计测第一及第二电极(21、22)间的静电容量。

主权项

一种颗粒收集系统，其特征在于包括：为用以利用静电力吸附颗粒的薄片状且柔软的集尘部、用以对该集尘部供给电源以使其产生静电力的电源部、以及用以计测对应于被吸附在集尘部的颗粒的吸附量而变化的集尘部的静电容量的静电容量计测部，其中，上述集尘部具有第一电极、配设于第一电极近旁的第二电极、以及至少覆盖第一电极全体的介电质，上述电源部为对上述第一及第二电极供给规定的电源电压者，上述静电容量计测部为计测第一及第二电极之间的静电容量者。