发明名称 印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法
摘要 本发明提供一种印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法。印刷用掩膜具备:掩膜基材(4),其具有形成于印刷面侧并与待印刷的图案相对应的印刷槽图案(4a)、与贯通于该印刷槽图案的底面且内径小于其底面宽度的贯通孔(4b);以及保持部件(3),其层叠于该掩膜基材并具有经由掩膜基材的贯通孔而与印刷槽图案内连通以填充转印材料的开口图案(3a)。而且,通过印刷槽图案在贯通孔以外的周边区域(4c)连接,能够抑制掩膜基材的图案的错位、变形。
申请公布号 CN105492215A 申请公布日期 2016.04.13
申请号 CN201480047941.9 申请日期 2014.08.27
申请人 株式会社V技术 发明人 水村通伸
分类号 B41N1/24(2006.01)I;B41M1/12(2006.01)I;H05K3/12(2006.01)I 主分类号 B41N1/24(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 李洋;青炜
主权项 一种印刷用掩膜,其特征在于,具备:掩膜基材,其具有形成于印刷面侧并与待印刷的图案相对应的印刷槽图案、与贯通于该印刷槽图案的底面且内径小于其底面宽度的贯通孔;以及保持部件,其层叠于所述掩膜基材并具有经由所述掩膜基材的贯通孔而与所述印刷槽图案内连通以填充转印材料的开口图案,所述印刷槽图案在所述贯通孔以外的周边区域连接。
地址 日本神奈川县