温度控制方法、温度控制装置以及热处理装置

摘要

提供一种温度控制方法、温度控制装置以及热处理装置，根据由分别设置在互不相同的位置的多个温度检测元件检测温度而得到的检测值，对包括分别设置在互不相同的位置的多个发热元件的、对被加热物进行加热的加热部中的上述发热元件的发热量进行控制，由此控制上述被加热物的温度，当上述多个温度检测元件中的某个温度检测元件发生了故障时，利用根据由除了发生故障的温度检测元件之外的温度检测元件检测出的检测值估计上述多个温度检测元件各自的温度的第一估计算法，来估计上述多个温度检测元件各自的温度，根据估计出的估计值来控制上述被加热物的温度。

主权项

一种温度控制方法，根据由分别设置在互不相同的位置的多个温度检测元件检测温度而得到的检测值，对包括分别设置在互不相同的位置的多个发热元件的、对被加热物进行加热的加热部中的上述发热元件的发热量进行控制，由此控制上述被加热物的温度，估计上述多个温度检测元件各自的温度，根据估计出的估计值来控制上述被加热物的温度，其中，当上述多个温度检测元件均未发生故障时，根据由上述多个温度检测元件中的除了所选择的温度检测元件以外的温度检测元件检测出的检测值，预先准备第一卡尔曼滤波器，当上述所选择的温度检测元件发生了故障时，利用已准备的上述第一卡尔曼滤波器来估计上述多个温度检测元件各自的温度。