发明名称 |
用于半导体封装的多功能膜及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种多功能膜及其制造方法,所述多功能膜包括:PO膜;PSA,形成在PO膜上;第一DAF,形成在PSA上;第二DAF,形成在第一DAF上,其中,第二DAF的弹性模量大于第一DAF的弹性模量。 |
申请公布号 |
CN103219296B |
申请公布日期 |
2016.04.13 |
申请号 |
CN201310108693.1 |
申请日期 |
2013.03.29 |
申请人 |
三星半导体(中国)研究开发有限公司;三星电子株式会社 |
发明人 |
陈琦;刘江涛 |
分类号 |
H01L23/29(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/29(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 |
代理人 |
韩芳;刘灿强 |
主权项 |
一种多功能膜,所述多功能膜包括:PO膜;PSA,形成在PO膜上;第一DAF,形成在PSA上;第二DAF,形成在第一DAF上,其中,第二DAF的弹性模量大于第一DAF的弹性模量,其中,第二DAF的弹性模量为1Gpa至9999Gpa,第一DAF的弹性模量为1Mpa至4999Mpa。 |
地址 |
215021 江苏省苏州市工业园区国际科技园科技广场7楼 |