发明名称 |
制造合成石英玻璃的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种制造合成石英玻璃的方法。并且,本发明涉及一种聚烷基硅氧烷化合物及其用于制造合成石英玻璃的应用,所述聚烷基硅氧烷化合物包含一定规格的氯含量、金属杂质含量和残留水分。本发明还涉及可根据本发明的方法获得的合成石英玻璃。 |
申请公布号 |
CN105481232A |
申请公布日期 |
2016.04.13 |
申请号 |
CN201510642238.9 |
申请日期 |
2015.09.30 |
申请人 |
贺利氏石英玻璃有限两合公司 |
发明人 |
兰·乔治·塞斯;马丁·罗默 |
分类号 |
C03B20/00(2006.01)I;C03B19/14(2006.01)I |
主分类号 |
C03B20/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 |
代理人 |
吴大建;刘华联 |
主权项 |
一种生产合成石英玻璃的方法,包括下述加工步骤:(a)蒸发包括至少一种可聚合的聚烷基硅氧烷化合物的生产材料,同时形成生产材料蒸气;(b)将从加工步骤(a)中得到的所述生产材料蒸气供应到反应区域,其中所述生产材料通过热解或水解转化成SiO<sub>2</sub>颗粒;以及(c)将从加工步骤(b)中得到的所述SiO<sub>2</sub>颗粒沉积在沉积表面上;(d)若适用,干燥并且玻璃化从加工步骤(c)中得到的所述SiO<sub>2</sub>颗粒,同时形成合成石英玻璃,其特征在于,至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含最多为550ppb的氯含量以及合计最多为25ppb的铬(Cr)和锌(Zn)的金属杂质含量。 |
地址 |
德国哈瑙 |