球面干涉拼接测量装置及其调整方法

摘要

本发明涉及一种球面误差干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、支座、六维调整架、CGH、一维导轨平台、被测件、一维调整机构、二维调整机构、四维调整机构、电控升降台。调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能够方便、快速、准确调整球面被测件以满足测量要求，有效的解决了被测球面零件在测量中安装和调整困难的问题，实现其全口径检测。

主权项

一种球面干涉拼接测量装置，其特征在于：包括干涉仪（1）、支座（2）、六维调整架（3）、CGH（4）、一维导轨平台（5）、被测件（6）、一维调整机构（7）、二维调整机构（8）、四维调整机构（9）、电控升降台（10）；所述支座（2）上安装干涉仪（1）和一维导轨平台（5），所述一维导轨平台（5）上安装六维调整架（3），所述CGH（4）安装在六维调整架（3）上，使干涉仪（1）出射光轴能够通过CGH（4）的中心，并且能调整CGH（4）与被测件（6）之间的距离；由所述一维调整机构（7）、二维调整机构（8）、四维调整机构（9）和电控升降台（10）组成被测件调节机构，被测件调节机构下端是电控升降台（10），所述电控升降台（10）上面固定四维调整机构（9），用来调整被测件（6）的球心与CGH（4）产生的球面波焦点重合，所述四维调整机构（9）上面固定二维调整机构（8），用来调整被测件（6）的球心与被测件调节机构的旋转中心线重合，所述一维调节机构（7）固定在二维调整机构（8）上，一维调节机构（7）上面固定被测件（6）。