发明名称 |
一种真空镀膜设备 |
摘要 |
本实用新型提出的一种真空镀膜设备,包括设备主体,设备主体上设有观察窗,观察窗包括窗框、透镜和透镜固定框,透镜设置于窗框和透镜固定框之间,窗框和透镜固定框固接,窗框内设有循环冷却结构和遮板结构,循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口,遮板结构包括转动杆、遮板和把手,冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接,对观察窗整体进行降温,窗框与透镜固定框连接稳固,密封良好,遮板设置于观察窗一侧,可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏,在需要观察时,拉动把手,即可实现遮板转动,松下把手,遮板在重力作用下,自动归位,把手外套合有硅橡胶隔热套管,可阻隔热量,具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点。 |
申请公布号 |
CN205152324U |
申请公布日期 |
2016.04.13 |
申请号 |
CN201520718495.1 |
申请日期 |
2015.09.17 |
申请人 |
镇江超威纳米科技有限公司 |
发明人 |
李亚军 |
分类号 |
C23C14/52(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/52(2006.01)I |
代理机构 |
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 |
代理人 |
陈丽君 |
主权项 |
一种真空镀膜设备,其特征在于,包括设备主体,所述设备主体上设有观察窗,所述观察窗包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框,所述透镜设置于窗框和透镜固定框之间,窗框和透镜固定框通过螺栓固接。 |
地址 |
212132 江苏省镇江市新区大港东方路36号2号厂房 |