发明名称 |
情報記憶素子を有する材料貯蔵槽を管理するためのシステムおよび方法 |
摘要 |
Material management systems and methods include material storage vessels with information (e.g., electronic information) storage. Information may be communicated from a storage device to a process tool controller and employed to set or adjust a process tool operating parameter. Material information may be determined by remote analysis and subsequently communicated to an electronic information storage device of a vessel containing such material. Location and movement of material storage vessels within a customer facility may be automatically tracked, with further transfer of material-specific information. Product information may be associatively stored with material-specific information utilized in product manufacture. |
申请公布号 |
JP5903469(B2) |
申请公布日期 |
2016.04.13 |
申请号 |
JP20140163819 |
申请日期 |
2014.08.11 |
申请人 |
インテグリス・インコーポレーテッド |
发明人 |
エルフストロム,スコット;ハンソン,キャサリーン,エル.;ハウマーセン,スティーブン,イー.;ジョンソン,トーマス,ディー.;ノレット,クラーリ;スミートン,ウィリアム |
分类号 |
H01L21/02;G05B19/418;G06Q50/04 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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