首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体
摘要
申请公布号 JP5901419(B2) 申请公布日期 2016.04.13
申请号 JP20120109993 申请日期 2012.05.11
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 橋 本 佑 介;長 峰 秀 一;伊 藤 規 宏
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com