物理量传感器

摘要

本发明的目的在于提供一种能够获得高精度的物理量检测信号的物理量传感器。该物理量传感器包括：将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路，其中，还包括有：所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行Δ∑调制，并输出调制信号的Δ∑调制器；输出电压可变的可变电压源；控制所述可变电压源的输出电压的控制部，所述Δ∑调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行Δ∑调制。

主权项

一种物理量传感器，其包括：将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡、输出检波信号和来自所述振子的被检波信号的振荡电路，所述的物理量传感器的特征在于，还包括：对所述检波信号和所述被检波信号中任一方的信号进行ΔΣ调制，并输出调制信号的ΔΣ调制器；基于所述调制信号对所述检波信号和所述被检波信号中另一方的信号进行检波，并输出与所述物理量对应的输出信号的检波电路，输出电压可变的可变电压源；和根据所述振子的个体差控制所述可变电压源的输出电压的控制部，所述ΔΣ调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行ΔΣ调制。