一种功分比可调PLC型光功分器及制备方法和调节方法

摘要

本发明公开了一种功分比可调PLC型光功分器，采用平面光波光路PLC芯片，平面光波光路PLC芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导、覆盖层，以及刻蚀在覆盖层上的2ⁿ⁺¹-2个电极，波导包括n级分路结构，第i级分路结构中包括2^i-1个分路单元，且每个分路单元呈Y形，每个分路单元包括一个输入波导和两个输出波导，每个分路单元上设有波导光栅，电极位于波导光栅两侧。该光功分器可实现功分比精细可调，同时，本发明还提供该光功分器的制备方法，该制备方法简单、成本低、可批量制作，本发明还提供该光功分器的调节方法，可实现功分比的精确调节。

主权项

一种功分比可调PLC型光功分器，其特征在于，该光功分器采用平面光波光路PLC芯片，平面光波光路PLC芯片包括硅衬底(1)、生长在硅衬底(1)上方的二氧化硅缓冲层(2)、生长在二氧化硅缓冲层(2)上方的波导(4)、生长在波导(4)外表面的覆盖层(5)，以及刻蚀在覆盖层(5)上的2ⁿ⁺¹‑2个电极(7)，波导(4)包括n级分路结构，第i级分路结构中包括2^i‑1个分路单元，且每个分路单元呈Y形，每个分路单元包括一个输入波导和两个输出波导，每个分路单元上设有波导光栅(401)，电极(7)位于波导光栅(401)两侧，当n＝1时，有1级分路结构；当n＝2时，第1级分路结构中的每个输出波导与第2级分路结构中的一个输入波导连接；当n≥3时，第w级分路结构中每个输出波导与第w+1级分路结构中的一个输入波导连接，第w级分路结构中的每个输入波导与第w‑1级分路结构中的一个输出波导连接；其中，n、i和w均为正整数，且1≤i≤n，2≤w≤n‑1；所述的每个分路单元中，输入波导为输入直波导，且波导光栅(401)刻蚀在输入直波导中，波导光栅(401)和位于波导光栅(401)两侧的电极(7)组成一个静电可调光栅。