环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置

摘要

一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形，具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。

主权项

一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，包括主干涉系统(4)，该主干涉系统(4)包括干涉仪(4‑1)、计算机(4‑2)及连接线(4‑3)，所述的干涉仪(4‑1)的输出端经连接线(4‑3)与所述的计算机(4‑2)的输入端相连，其特征在于还包括液压升降平台系统(1)、反射镜系统(2)和扩束镜系统(3)，所述的扩束镜系统(3)包括负组正透镜(3‑1)、负组负透镜(3‑2)和正组正透镜(3‑3)，所述的反射镜系统(2)包括反射镜(2‑6)、调节该反射镜水平位置的三根平行拉杆(2‑5)，在所述的液压升降平台系统(1)的上平台(1‑5)上设置所述的干涉仪(4‑1)、扩束镜系统(3)和反射镜系统(2)的平行拉杆(2‑5)，沿所述的干涉仪(4‑1)输出光束方向依次是同光轴的负组正透镜(3‑1)、负组负透镜(3‑2)和正组正透镜(3‑3)和反射镜(2‑6)，所述的反射镜(2‑6)与所述的光轴成45°。