作为硬掩模和填充材料的稳定的金属化合物、其组合物以及使用方法

摘要

本发明涉及用于形成具有改进的稳定性的金属氧化物膜的新型可溶性多配体取代的金属氧化物化合物以及由它们制成的组合物以及它们的使用方法。具体而言，本发明涉及具有以下结构(I)的化合物：其中M是金属并且n是1至20，并且其中R₁、R₂、R₃和R₄的至少一个是i)并且R₁、R₂、R₃和R₄的至少一个是ii)，其中i)是具有至少2个碳的带有硅的有机部分，并且ii)是有机部分。本发明还涉及溶解到溶剂中的结构(I)的化合物的可旋涂组合物。本发明进一步涉及使用这种可旋涂组合物以便在图案化衬底上形成涂层的方法。

主权项

结构(I)的可溶性多配体取代的金属化合物：其中M是金属并且n是1至20，并且其中R₁、R₂、R₃和R₄的至少一个是i)并且R₁、R₂、R₃和R₄的至少一个是ii)，其中i)是具有至少2个碳的带有硅的有机部分，并且ii)是有机部分(II)，其中R₈选自C₂‑C₁₀亚烷基、C₃‑C₁₂支链亚烷基、C₅‑C₁₂亚环烷基、含有C＝C双键的C₂‑C₁₀亚烷基、含有C＝C双键的C₃‑C₁₂支链亚烷基和含有C＝C双键的C₅‑C₁₂亚环烷基，并且R₉是氢或烷氧基羰基部分(III)，其中R₁₀是C₁‑C₈烷基，条件是带有具有至少2个碳的有机部分的带有硅的部分i)为全部基团R₁、R₂、R₃和R₄的大约10摩尔％至大约80摩尔％，并且ii)为全部基团R₁、R₂、R₃和R₄的大约20摩尔％至大约90摩尔％。