| 发明名称 | 基板支撑系统 | ||
| 摘要 | 一种用于基板工艺腔室的基板支撑系统的方法与设备，所述腔室包括：封闭处理区域的腔室主体；至少部分地设置在处理区域中的主基板支撑件与次基板支撑件，所述次基板支撑件外接所述主基板支撑件，其中所述主基板支撑件与所述次基板支撑件中的一个或两个相对于彼此是线性地可移动的，并且所述主基板支撑件相对于所述次基板支撑件是可旋转的。 | ||
| 申请公布号 | CN105493262A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201480047900.X | 申请日期 | 2014.08.07 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | D·卢博米尔斯基 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种基板工艺腔室，包括：腔室主体，所述腔室主体封闭处理区域；主基板支撑件和次基板支撑件，所述主基板支撑件和所述次基板支撑件至少部分地设置在所述处理区域中，所述次基板支撑件外接所述主基板支撑件，其中，所述主基板支撑件和所述次基板支撑件中的一个或两个相对于彼此是线性地可移动的，并且所述主基板支撑件相对于所述次基板支撑件是可旋转的。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||