| 摘要 |
【課題】ウエハ上の電極パッドとプローブとの電気的な接触信頼性を高めるプロービング装置及びプローブコンタクト方法を提供する。【解決手段】ウエハチャック１６Ａとプローブカード１８との間で密閉空間Ｓを形成させるシール機構４０と、密閉空間Ｓを外部と連通させるシャッタ手段（開閉手段）４８とにより、密閉空間Ｓを減圧しウエハＷにプローブを所定の圧力で接触させる接触圧力付与手段と、ウエハチャック１６Ａを所定速度でウエハＷ上の電極パッドとプローブとが接触する位置まで上昇させて、ウエハＷにプローブを接触させる機械的なウエハチャック昇降手段５２と、を備える。【選択図】図１１ |
