一种等离子体增强型化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。本发明电场从石墨舟前后两端导入，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场差异减小，整个石墨舟电场更加均匀、稳定。

主权项

一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。