一种基于微波辅助的激光诱导击穿光谱装置

摘要

本发明公开了一种基于微波辅助的激光诱导击穿光谱装置，其包括激光器、微波发生器、脉冲延时发生器、准直系统、光谱仪、光学聚焦系统。脉冲延时发生器首先触发激光器发出脉冲式激光光束，激光光束通过准直系统准直后再通过光学聚焦系统将激光光束的能量聚焦于样品的表面，激光光束与样品相互作用产生高温、高密度的等离子体。冲延时发生器然后触发微波发生器发出微波脉冲并控制微波脉冲对等离子体再次激发，在电磁场的作用下，等离子体中的电子被加速，获得足够的动能再次激发原子和离子，处于原子和离子激发态的电子向低能级跃迁，在跃迁的过程中发射光谱信号即特定波长的特征光谱。脉冲延时发生器再触发光谱仪对光谱信号进行采集。

主权项

一种基于微波辅助的激光诱导击穿光谱装置；其特征在于：其包括激光器(1)、微波发生器(2)、脉冲延时发生器(3)、准直系统(5)、光谱仪(9)、光学聚焦系统(13)；脉冲延时发生器(3)控制激光器(1)、微波发生器(2)、光谱仪(9)之间的时序：脉冲延时发生器(3)首先触发激光器(1)发出脉冲式激光光束，所述激光光束通过准直系统(5)准直后，再通过光学聚焦系统(13)将激光光束的能量聚焦于样品(11)的表面，激光光束与样品(11)相互作用产生高温、高密度的等离子体(10)；脉冲延时发生器(3)然后触发微波发生器(2)，微波发生器(2)发出微波脉冲并控制微波脉冲对等离子体(10)再次激发，在电磁场的作用下，等离子体(10)中的电子被加速，获得足够的动能再次激发原子和离子，处于原子和离子激发态的电子向低能级跃迁，在跃迁的过程中发射光谱信号即特定波长的特征光谱；脉冲延时发生器(3)再触发光谱仪(9)对所述光谱信号进行采集。