| 发明名称 | 耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法。该材料的分子式为Al<sub>x</sub>(A<sub>y</sub>B<sub>1-y</sub>)<sub>1-x</sub>N<sub>z</sub>；其中，x代表Al的摩尔分数，取值为0.85～0.95；y为0.45～0.8。本发明制备的氮化铝同时具有铁电、铁磁特性，且铁电和铁磁居里温度达到450摄氏度，通过电场可以调制磁性，也可通过磁场调控铁电性。 | ||
| 申请公布号 | CN105483629A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201410479805.9 | 申请日期 | 2014.09.18 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 曾飞;刘宏燕;王光月;潘峰 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C01F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 关畅 |
| 主权项 | 一种掺杂氮化铝材料，其分子式为Al<sub>x</sub>(A<sub>y</sub>B<sub>1‑y</sub>)<sub>1‑x</sub>N<sub>z</sub>；其中，x代表Al的摩尔分数，为0.85‑0.95；y为0.45‑0.8；所述A和B为如下组合a至c中的任意一种：组合a为：A代表Cr元素；B代表Ta元素；组合b为：A代表Mg元素；B代表Ca元素；组合c为：A代表Sc元素；B代表Y元素；z代表氮的摩尔分数，为1。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 | ||