紫外线照射装置

摘要

本发明提供一种能够进行被处理对象物的光照射面内紫外线照度的面内均匀性高，而且被处理对象物的温度上升少、被处理对象物的光照射面内温度的面内均匀性高的紫外线照射处理的紫外线照射装置。该紫外线照射装置在包含光反应性物质的液晶面板的制造工序中使用，具备由多个光源元件与作为被处理对象物的液晶面板材料相对地并列排列构成的光源单元、以及向上述光源元件的每一个中的外套管的内部供给冷却风的冷却机构，所述多个光源元件的每一个由放射在300nm～400nm的波长上具有发光峰值的光的长条状的灯、以及在内部穿插有该灯的状态下设置的具有光透射性的长条状的外套管构成。

主权项

一种在包含光反应性物质的液晶面板的制造工序中使用的紫外线照射装置，其特征在于，具备：光源单元，由多个光源元件与作为被处理对象物的液晶面板材料相对地并列排列构成，所述多个光源元件的每一个由放射在300nm～400nm的波长上具有发光峰值的光的长条状的准分子灯、以及在内部穿插有该准分子灯的状态下设置的具有光透射性的在两端有开口的筒状的长条状外套管构成；冷却机构，具有导风用空间部以及排风用空间部，以及光导部，在上述光源单元与被处理对象物之间，由内周面通过反射面形成的空间构成，上述光源元件的每一个中的外套管的一端开口位于共同的导风用空间部且另一端开口位于共同的排风用空间部，经由导风用空间部向上述光源元件的每一个中的外套管的内部供给冷却风，在上述冷却机构形成有由上述导风用空间部以及排风用空间部形成的循环冷却风流通路径，在该循环冷却风流过路径配置有散热用的热交换器。