发明名称 外延结构
摘要 本发明涉及一种外延结构,其包括:一基底,该基底具有一外延生长面,以及一外延层形成于所述基底的外延生长面,其特征在于,进一步包括一石墨烯层设置于所述外延层与基底之间。
申请公布号 CN103378237B 申请公布日期 2016.04.13
申请号 CN201210122543.1 申请日期 2012.04.25
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 魏洋;范守善
分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L33/02(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种外延结构,其包括:一基底,该基底具有一外延生长面,以及一外延层形成于所述基底的外延生长面,其特征在于,进一步包括一石墨烯层设置于所述外延层与基底之间,所述石墨烯层为具有多个开口的连续的整体结构体,所述石墨烯层的厚度为一个碳原子厚度。
地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室