一种多级加工研磨抛光装置

摘要

本发明涉及一种多级加工研磨抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨盘、底座、中心轴和电机，研磨盘的上方设有多层环形的挡板，挡板由内到外半径逐渐增加，将研磨盘由内到外分成多个环形区域，环形区域内依次交替装有磨料流和清水；磨料流的粒度由内至外逐渐减小；每个挡板上均设有开关门，所有开关门集成一体，同时控制。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件分别进行不同程度精度的加工；工件依次经过不同程度精度的加工，实现了从研磨到抛光的快速衔接，避免了加工过程中刚更换设备或工具，充分提高了加工效率与设备的利用率，节约了资源。

主权项

一种多级加工研磨抛光装置，其特征在于：包括研磨盘、底座、中心轴和电机，电机装在底座内部，电机与中心轴通过联轴器连接，中心轴的顶端设有平键槽，中心轴的顶端通过平键与研磨盘连接；所述研磨盘的上方设有多层环形的挡板，所述挡板由内到外半径逐渐增加，所有所述挡板均以中心轴为轴心，所述挡板将研磨盘由内到外分成多个环形区域，所述环形区域内依次交替装有磨料流和清水；所述磨料流的粒度由内至外逐渐减小；每层所述挡板上均设有开关门，所述所有开关门组成开关总成，所述开关总成上设有轴孔，中心轴穿过开关总成的轴孔，所述中心轴上开关总成与电机之间的部分套有弹簧，所述中心轴上弹簧与电机之间的部分装有深沟球轴承；所述底座上设有支撑柱，所述支撑柱与研磨盘通过推力滚子轴承连接，所述底座上设有四个电磁吸铁，电磁吸铁通电后产生磁场把开关总成向下吸引，使所有的开关门下降；所述中心轴的轴上设有花键凹槽，开关总成的轴孔上设有花键凸槽，开关总成与中心轴采用花键连接。