静电梳齿谐振器

摘要

本发明涉及一种静电梳齿谐振器，包括上下锚点、第一叉指电容、第二叉指电容、第三叉指电容、第四叉指电容、上下弹性梁、振子质量块和左右锚点，振子质量块包括左部质量块和右部质量块；其特征是：所述左部质量块左侧的中部向左部质量块右侧凹进形成左部槽体，右部质量块右侧的中部向右部质量块左侧凹进形成右部槽体；在所述左部质量块的上部和下部的左侧面上设有第一叉齿电容，在右部质量块的上部和下部的右侧面上设有第二叉指电容；在所述左锚点上设有第三叉指电容，在右锚点上设有第四叉电容；所述第一叉指电容与第三叉指电容等距离交叉配置，第二叉指电容与第四叉指电容等距离交叉配置。本发明避免了质量块翘起从而影响谐振器正常工作的隐患，从而避免了制造过程中质量块翘起从而影响谐振器正常工作的隐患。

主权项

一种静电梳齿谐振器，包括基底（7）及基底（7）上的结构层，结构层包括上锚点（1‑1）、下锚点（1‑2）、第一叉指电容（2‑1）、第二叉指电容（2‑2）、第三叉指电容（2‑3）、第四叉指电容（2‑4）、上弹性梁（3‑1）、下弹性梁（3‑2）、振子质量块、左锚点（6‑1）和右锚点（6‑2）；所述振子质量块包括左部质量块（4‑1）和右部质量块（4‑2），左部质量块（4‑1）和右部质量块（4‑2）由连接梁（5）连接；所述上弹性梁（3‑1）和下弹性梁（3‑2）分别包括多条折梁，上弹性梁（3‑1）的折梁与上锚点（1‑1）连接；所述上弹性梁（3‑1）的折梁分别与左部质量块（4‑1）和右部质量块（4‑2）连接；下弹性梁（3‑2）的折梁与下锚点（1‑2）连接；所述下弹性梁（3‑2）的折梁分别与左部质量块（4‑1）和右部质量块（4‑2）连接；其特征是：所述左部质量块（4‑1）左侧的中部向左部质量块（4‑1）右侧凹进形成左部槽体（4‑11），左部槽体（4‑11）将左部质量块（4‑1）分隔形成上下两部分；所述右部质量块（4‑2）右侧的中部向右部质量块（4‑2）左侧凹进形成右部槽体（4‑21），右部槽体（4‑21）将右部质量块分隔形成上下两部分；在所述左部质量块（4‑1）的上部和下部的左侧面上设有梳齿状排列的第一叉齿电容（2‑1），在右部质量块（4‑2）的上部和下部的右侧面上设有梳齿状排列的第二叉指电容（2‑2）；在所述左锚点（6‑1）靠近左部质量块（4‑1）的侧面上设有梳齿状排列的第三叉指电容（2‑3），在右锚点（6‑2）靠近右部质量块（4‑2）的侧面上设有梳齿状排列的第四叉电容（2‑4）；所述第一叉指电容（2‑1）位于第三叉指电容（2‑3）的空隙之间，且第一叉指电容（2‑1）与第三叉指电容（2‑3）呈等距离的交叉配置；所述第二叉指电容（2‑2）位于第四叉指电容（2‑4）的空隙之间，且第二叉指电容（2‑2）与第四叉指电容（2‑4）呈等距离的交叉配置；所述第一叉指电容（2‑1）、第二叉指电容（2‑2）、第三叉指电容（2‑3）、第四叉指电容（2‑4）、上弹性梁（3‑1）、下弹性梁（3‑2）、振子质量块和连接梁（5）的结构为垂直沉积叠加结构，该垂直沉积叠加结构自底层向上依次为第一介质层（8）、第一金属铝图层（9）、第二介质层（10）、第二金属铝图层（12）、第三介质层（13）、第三金属铝图层（15）和钝化层（16），第一金属铝图层（9）和第二金属铝图层（12）由设置在第二介质层（10）中的第一钨塞（11）连接，第二金属铝图层（12）和第三金属铝图层（15）由设置在第三介质层（13）中的第二钨塞（14）连接；在该垂直沉积叠加结构上刻蚀形成多个垂直于基底（7）的侧墙（17），侧墙（17）由钝化层（16）的上表面延伸至基底（7）的上表面，在该垂直沉积叠加结构下部的基底（7）上设置悬空结构（18）。