| 发明名称 | 试样支架以及带电粒子装置 | ||
| 摘要 | 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。 | ||
| 申请公布号 | CN105493225A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201480046171.6 | 申请日期 | 2014.05.19 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 长久保康平;长冲功;松本弘昭;佐藤岳志 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01)I;H01J37/18(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 张敬强;严星铁 |
| 主权项 | 一种试样支架，其特征在于，在带电粒子装置的试样室中，具备用于将试样附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样上部共用带电粒子通路孔与能检测从试样发出的二次电子的微小孔口，具有通过使孔径比试样上部的微小孔口大，从而能积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||