集成CMOS/MEMS麦克风裸片

摘要

所保护的发明致力于使用CMOS基技术而制造的MEMS麦克风裸片。更具体地，权利要求致力于具有各向异性弹簧、背板、膜片、机械阻挡件以及支撑结构的MEMS麦克风裸片的各种方面，其全部使用CMOS制造技术制造为由过孔分离的堆叠的金属层。

主权项

一种用于CMOS MEMS电容式麦克风裸片的膜片，该膜片包括：第一大致平面金属层，该第一大致平面金属层具有顶面和底面；第二大致平面金属层，该第二大致平面金属层与所述第一层尺寸和形状大致相同，具有顶面和底面，并且与所述第一层平行且与所述第一层大致竖直对齐地定位；以及在所述第一层与所述第二层之间的第一多个过孔，所述过孔附接到所述第一层的所述顶面和所述第二层的所述底面。